液體軟氮化的鹽浴由碳酸鹽和尿素組成，它們在高溫下相互反應生成氰酸根（CNO-）。CNO-再分解出C、N活性原子，它們滲入工件表面，形成15~20μm的ε相化合物。隨后與氧化劑（強堿和硝酸鹽）形成Fe3O4氧化膜，同時零件黏附的軟氮化鹽中含有CN-和CNO-被氧化成無毒的CO。輕微機械拋光的目的是降低因氮碳共滲和發藍處理而提高了的表面粗糙度值。由于拋光會使零件耐腐蝕性下降，故再進行一次發藍處理（AB鹽或Y-1鹽）。在零件表面形成一層均勻、致密、堅硬的Fe3O4薄膜，表面硬度大約在600~1000HV。